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          PERC管式鍍膜石墨舟污染異常解決方案

          發布時間:2020-06-29 點擊次數:1432

          管式鍍膜在硅片表面沉積一層氮化硅減反射膜,增強光的吸收與鈍化作用,鍍膜故障部分存在解決時間比較長,分析困難的情況,本文將介紹管式鍍膜舟污染異常情況,期待與您共同進步。


          1. 故障描述
           

          1.1 管式鍍膜5管膜后硅片折射率異常,現場石墨舟被污染,懷疑硅烷流量計實際流量大。

          PERC 210大型石墨舟



          2. 故障處理分析

          2.1 檢查5管的整管的真空情況,漏氣保壓情況均無異常,但通過現場污染情況以及折射率,流量計控制異??赡苄暂^大;


          2.2 懷疑硅烷流量計異常;

          a. 手動測試現用的硅烷流量無異常,懷疑硅烷流量計實際值與顯示值偏大。

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          b. 更換返修的硅烷流量計,手動測試流量計無異常,但在做2-3舟正常工藝后仍出現膜后片子折射率異常,并且蝶閥的開度在工藝步下一舟的開度比前一舟的大。

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          c. 再次更換新的硅烷流量計,氦檢真空管路未發現異常,手動測試流量計無異常,但在做正常工藝2-3舟后出現膜后片子折射率異常,再次測試硅烷流量計發現同樣500sccm的流量,5管的壓力值比其他管明顯上升。

          2.3 懷疑NH3流量計異常,驗證無異常;

          a. 調低硅烷流量,懷疑NH3流量計異常,導致實際NH3流量低造成硅烷無法完全反應造成。

          b. 更換返修的氨氣流量計,手動測試氨氣流量、壓力都正常,但在做2-3舟正常工藝后仍出現膜后片子折射率異常。

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          c. 再次測試氨氣流量計發現氨氣流量控制不穩,再次更換氨氣流量計,手動測試氨氣流量、壓力都正常。

          d. 但在做2-3舟正常工藝后仍出現膜后片子折射率異常且蝶閥開度不斷增大,手動測試氨氣流量、壓力都正常,排除氨氣流量計異常。

          2.4 懷疑主抽內部漏氣、真空不足造成,驗證無異常;

          a. 更換主抽,懷疑可能真空泵抽真空能力不足造成,更換返修的真空泵,測試無效。

          b. 與正常的工藝爐管對調主抽、蝶閥、預抽、壓力計、真空泵,正常工藝2-3舟后仍出現膜后片子折射率異常。

          c. 通過對調排除了主抽、蝶閥、預抽、壓力計、真空泵。

          2.5 懷疑DPC控制箱、流量計控制信號線異常,驗證無異常;

          a. 與正常管對調 DPC整個控制箱、硅烷流量計控制線。

          b. 手動測試硅烷流量無異常。

          c. 但做正常工藝,做2-3舟后仍出現膜后片子折射率異常。

          d. 通過對調排除了DPC控制箱內的控制板,硅烷流量計控制線。


          2.6 懷疑硅烷控制氣動閥異常,結果無異常;

          a. 與氬氣管路對調3個氣動閥。

          b. 手動測試硅烷流量無異常。

          c. 做正常工藝,但做2-3舟后仍出現膜后片子折射率異常。


          2.7 懷疑硅烷管道異常;

          a. 為測試排除其他因素影響,重新更換3個新的控制硅烷流量計的氣動閥。

          b. 拆除硅烷手閥以后的管路,發現硅烷流量計進氣管道的一節有很薄的一層氧化物。

          c. 用氣槍吹掃管路,酒精浸泡管路并用布擦拭管路內部,清理內部臟污。

          d. 為避免流量計被臟污顆粒再次污染,更換新的硅烷流量計;

          e. 安裝完成后,手動測試硅烷流量計無異常。

          f. 做正常工藝,膜后片子折射率無異常,工藝恢復正常。


          3. 結論總結


          3.1針對此次異常故障,存在重復排查情況,硅烷流量計重復更換多次,耗費時間較長;

          3.2測試過程中的流量計在初次測試過程中無異常,但在每次試做2-3個工藝循環后出現問題,問題來源管道臟污的關系較大,后期可作為流量異常的參考;


          3.3如果故障一時無法判斷,可采取利用排除方法進行硬件更換,來縮小排查范圍,提高問題處理效率;

          本文出自深圳市石金科技股份有限公司,公司是集銷售、應用開發,產品加工的石墨專業廠家,專門為模具行業、機械行業、真空熱處理爐、電子半導體及太陽能光伏產業等提供石墨材料、石墨電極和相關的石墨制品,歡迎致電13662687390


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