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          石墨舟污染原因和改善方法

          發布時間:2019-11-12 點擊次數:6628


          污染類型

          易污染對象

          污染原因

          備注

          膜后不可去小白點

          鍍膜前wafer

          少量微顆粒膜前附著到wafer上。鍍膜時SIN層沒能渡到wafer表面,造成小白點。

          產生不良片

          氮氣不清潔(沒裝氮氣過濾器),吹出白色微小顆粒。
           膜前附著到wafer上

          產生不良片

          膜后可去掉小白點

          膜后wafer

          氮氣不清潔,吹出白色顆粒(可吹掉),膜后附著到wafer上。

          可吹掉,產生一定量不良片

          膜后微顆粒附著到wafer上(可吹掉),

          可吹掉,產生量少不良片

          白色,灰白色霧狀附著物

          氣流片(wafer)
           石墨舟

          特氣管道殘遇硅烷(濃度很低),隨氮氣沖出。在石墨舟出來的過程中造成明顯的氣流痕跡。

          污染石墨舟(一般為白色,或者灰白色),產生大量不良片。

          土灰色雪花狀漂浮物

          石墨舟,wafer
           爐管

          硅烷羊角閥,流量計有漏(濃度較低),直接在爐門口燃燒,產生白色,灰色粉塵。

          污染石墨舟,爐管,產生大量不良片。

          污染類型

          解決措施

          預防措施

          膜后不可去小白點

          清理特氣孔,吹掃特氣管道

          制作吹掃工藝,定期進行吹掃工藝;潔凈,爐管及進出舟環境。

          吹掃氮氣管道,跟換,安裝氮氣濾芯。

          購買氮氣濾芯,定期更換氮氣濾芯

          膜后可去掉小白點

          吹掃氮氣管道,清理,跟換,安裝氮氣濾芯。

          購買氮氣濾芯,定期更換氮氣濾芯

          清理特氣孔,吹掃特氣管道。

          協助工藝去部掉出爐管15slm N2。潔凈,進出舟環境。

          白色,黃色
           霧狀附著物,
           氣流片,白舟

          發現有異常,及時停止制程,立即測試硅烷羊角閥,流量計,發現有漏。及時跟換羊角閥流量計。

          發現類似情況及時停止工藝制程。更換相應備件。
           購買羊角閥,3slm流量計備品,備件,減少石墨舟的污染

          雪花狀漂浮物

          發現有異常,及時停止制程,立即排查,流量計,羊角閥。如果
           硅烷羊角閥竄氣,更換硅烷羊角閥

          發現類似情況及時停止工藝制程。更換相應備件。
           購買羊角閥備件,減少石墨舟的污染。



          石金石墨舟廠家

          本文出自深圳市石金科技股份有限公司,公司是集銷售、應用開發,產品加工的石墨專業廠家,專門為模具行業、機械行業、真空熱處理爐、電子半導體及太陽能光伏(石墨舟)產業等提供石墨材料、石墨電極和相關的石墨制品,歡迎致電13662687390

          石金科技

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