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          石墨舟wafer污染可分哪幾種

          發布時間:2019-11-12 點擊次數:1437

           石墨舟污染分析及分類:

            1.正常情況下,硅烷氨氣,在高溫,高頻光輝放電的作用下會生成一層較清潔干凈,不可擦掉的氮化硅生成物,附著在爐壁上。隨著鍍膜次數的增加,爐壁的SIN層越厚。

            2.在真空及氣流的作用下會產生流沙一樣的土黃色的SIN小顆粒。沉積到特氣孔法蘭內,或分布于爐管的底部,及爐壁上。

            3.由于氮氣不清潔(沒有安裝氮氣過濾器),在氮氣管壁有白色顆粒,在充氮氣回壓時隨氮氣到爐管,附著到wafer或許石墨舟上,形成小白點。

            4.在工藝制程結束后特氣管道吹掃不干凈(流量計異常),有濃度較低的硅烷。在出石墨舟過程中隨氮氣沖出,在特氣孔周圍遇氧燃燒產生白色或許淡黃色的氧化硅霧狀附著物。

            5.最嚴重的是硅烷羊角閥,或用流量計有漏,在沖N2時由于控制不好,會有濃度相對較高的SIH4漏出,在特氣孔處遇氧產生明火。燃燒產生的土灰色雪花狀漂浮物,會污染整個爐管,和石墨舟及舟內wafer上。

            根據以上分析爐管粉塵污染大致分為如下幾類

            1.石墨舟舟片上淡黃色微顆粒;

            2.石墨舟舟片上可去掉,或不可去掉小白點;

            3.石墨舟舟片上黃色或者白色霧狀附著物(稱為氣流異常);

            4.石墨舟舟片上雪花狀漂浮物;

          PECVD石墨舟


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